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RACE PURGE

(儲存系統內的控制器,提供無塵室一級標準等級的氣體品質)

 

RACE PURGE

(儲存系統內的控制器,提供無塵室一級標準等級的氣體品質)

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保持潔淨

RACE Purge 控制氮氣或高壓淨氣的流動。它藉著 PLC 連接閥門及感應器,使氣體得以進入儲存區中的光罩或是 WIP 儲存裝置中。 一種情境可對應多種儲存器環境,如:獨立的儲存設備、群組下的儲存設備或跨平台的儲存設備。