保持潔淨

RACE Purge 控制氮氣或高壓淨氣的流動。它藉著 PLC 連接閥門及感應器，使氣體得以進入儲存區中的光罩或是 WIP 儲存裝置中。 一種情境可對應多種儲存器環境，如：獨立的儲存設備、群組下的儲存設備或跨平台的儲存設備。